LTCC Ve Radom Uygulamaları Için Seramik-Cam Kompozitlerin Geliştirilmesi, Mekanik, Dielektrik Ve Termal Özelliklerin İncelenmesi
Bilaç O. (Yürütücü)
TÜBİTAK Projesi, 1002 - Hızlı Destek Programı, 2021 - 2022
- Proje Türü: TÜBİTAK Projesi
- Destek Programı: 1002 - Hızlı Destek Programı
- Başlama Tarihi: Haziran 2021
- Bitiş Tarihi: Haziran 2022
Proje Özeti
Düşük sıcaklıkta beraber
sinterlenen seramikler (LTCC) ve radom uygulamalarında kullanılmak üzere, ağırlıkça
%10 (M-10), %20 (M-20), %30 (M-30), %50 (M-50), %55 (M-55) ve %60 (M-60)
oranlarında ticari SiO2- Al2O3-CaO bazlı bir
cam eklenerek, müllit/cam kompozitler incelenmiştir. Kompozitlerin yoğunlaşma
davranışları ve faz oluşumları, dielektrik, mekanik ve ısıl özellikleri belirlenmiştir.
Kompozitlerin optimum sinterleme sıcaklıkları saptanmıştır. Bütün kompozitlerde
ana kristal faz müllit olmakla birlikte 825°C’den sonra anortit kristalleşmesi
görülmüştür. Elastik modül değeri M-10’da 189 GPa’dan M-60’da 98 GPa’a
düşmüştür. Eğilme mukavemeti M-10’da 180 MPa ile M-60’da 89 MPa arasında
değişmiştir. Sertlik değeri de artan cam miktarıyla düşmüştür; M-10’da 1140 HV
ve M-60’da 642 HV’dir. Kompozitlerin (M-10 ve M-60) 5 MHz’deki dielektrik
sabitleri 7.29 ve 6.71 ve dielektrik kayıpları 0.0003 ve 0.0006’dir. Isıl
iletkenlik değeri artan cam miktarıyla düşmüştür; M-10’da 4.45 W/m.K ve M-60’da
1.55 W/m.K’dir. Isıl genleşme katsayısı M-10’un 4.61 ppm/°C ve M-60’ın 4.61
ppm/°C olmuştur. LTCC uygulaması için düşük sinterleme sıcaklığı ve dielektrik
sabiti ile birlikte orta derecede mekanik ve ısıl özelliklerinden dolayı M-55 kompozitin
uygun olduğu değerlendirilmiştir. Daha sonra M55 kompozitine ağırlıkça %1 hBN (M55-1),
%2.5 hBN (M55-2.5), %5 hBN (M55-5) ve %10 hBN (M55-10) oranlarında hBN
eklenerek, müllit/cam/hBN kompozitleri incelenmiştir. Tüm M55/hBN kompozitleri
950°C’nin
altında başarılı bir şekilde sinterlenmiştir. XRD sonuçları, hBN'nin ne diğer
fazlar ile kimyasal olarak reaksiyona girdiğini ne de sıcaklıkla bozunmadığı
kanıtlamıştır; bu durum, termal iletkenliği arttırmak ve aynı zamanda
dielektrik sabitini azaltmak için kritik bir parametredir. Bu nedenle, hem müllit
hem de nano-hBN, LTCC uygulamaları için gerekli olan dielektrik ve termal
özellikleri güçlü bir şekilde geliştirmiştir. Ağırlıkça %10 hBN ilaveli yoğun müllit/cam
(ağırlıkça %55 cam ) baz kompozit başarıyla tasarlanmış ve LTCC ürünler ile
karşılaştırılabilir dielektrik ve termal özelliklere sahip olduğu bulunmuştur
(yani, 900°C'de sinterleme sonrası 2.3 g/cm3, 5 MHz'de dielektrik
sabiti (kayıp) = 5.13 (0.003), 25°C'de termal iletkenlik = 1.91 W/m.K ve temel
kompozit için termal genleşme katsayısı = 4.75 ppm/°C). Ayrıca M55-10
kompozisyonu şerit döküm yöntemiyle başarılı bir şekilde üretilmiş ve gümüş
elektrot ile birlikte pişirilmiştir. Radom uygulamaları için düşük yoğunluk,
yüksek sinterleme sıcaklığı, düşük elastik modül ve ısıl genleşme katsayısından
dolayı M-10, M-20 ve M-30 kompozitlerinin uygun olduğu değerlendirilmiştir.